PZM-D奈米級精密Z-軸動態微型致動器
產品優勢
•小巧、節省空間的設計,方便整合到多軸運動系統中
•奈米級位置穩定性,確保卓越的影像品質
•零背隙-比起滾珠螺桿和其他傳統執行器傳遞力更佳。
•採用高精度交叉滾子軸承,確保優異的動態性能和有效載荷能力
•增強的安全功能,配備磁力平衡系統,可防止馬達斷電後軸長時間移動
•可調式磁力平衡力,以適應不同的鏡頭/相機
產品特性及應用
•10nm 的優異位置穩定性
•+/-0.25μm 的高位置重複性
•微型尺寸
•短穩定時間
•可調式磁重力補償
•相機自動對焦
•自動光學檢測(AOI)
•雷射微加工
•自動細胞計數